一、硅晶片真空箱箱体规格
型号
内箱尺寸（w*h*dmm）
外箱尺寸（w*h*dmm）
真空泵
电源
he-wd-300
300*300*300
1000*1580*920
4升
ac 220v 50hz 3.5kw
he-wd-400
400*400*400
1000*1580*920
4升
ac 220v 50hz 4.5kw
he-wd-500
500*500*500
1000*1580*920
4升
ac 220v 50hz 5.5kw
he-wd-600
600*600*600
1000*1580*920
4升
ac 380v 50hz 9kw
he-wd-700
700*700*700
1000*1580*920
8升
ac 380v 50hz 12kw
he-wd-800
800*800*800
1100*1680*1050
8升
ac 380v 50hz 15kw
he-wd-1000
1000*1000*1000
1350*1620*1300
8升
ac 380v 50hz 20kw
箱体结构：连体式，真空泵置于机台下部；
隔层：内分二层，配网板二块，可活动抽出；
面板安装：控制面板安装于机台下方（如设备外观图）；
开门方式：单由右至左开启;
可视窗：门上带可视窗，规格w250×h300mm；
内箱材料为：304#不锈钢工业板；内箱加强处理，抽真空不变形；
保温材质为：耐高温岩棉，保温层厚100mm，保温效果好；
二、硅晶片真空箱控温系统
1、控制为pid数显仪表；
2、加热体为耐高温发热管；
3、温度范围：常温+30℃～200℃
4、控制精度：±0.5℃
5、显示精度：0.1℃
6、箱内温度均匀度：±5℃%(无真空时，空箱测试)
7、升温速率：rt→100℃（约30分钟）
三、真空系统
1、本机采用高密封性的硅胶密封条保障整机的密封性；
2、采用数显示式真空表直接显示内箱真空度，让你即时了解箱体内的真空状态，真空度达到0－-0.1mpa (即:100pa真空度)
3、真空度：0～-101kpa（数显式负压真空表，显示相对压力值）
4、真空表显示精度：0.1kpa
5、真空保压泄漏率：约0.8kpa每小时
四、充氮气装置
1、调压阀：控制氮气压力，正常使用下氮气压力调为2.5公斤左右；
2、面板流量计：控制氮气进入箱内的大小，量程为10l/min-60lmin；
3、氮气管道进入到箱内正后面，调压阀处预留8mm快插气管接口；
4、注：氮气由用户自备。