１．三坐标测量机对环境要求比较严格，应按合同要求严格控制温度及湿度；
２．三坐标测量机使用气浮轴承，理论上是磨损结构，但是如果气源不干净，有油．水或杂质，就会造成气浮轴承阻塞，严重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤，后果严重。所以每天要检查机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意机床气源前级空气来源，（空气压缩机或集中供气的储气罐）也要定期检查；
３．三坐标测量机的导轨加工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汽油擦拭（120＃汽油），花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
４．切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂；
５．定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油；
６．在长时间没有使用三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和湿度(24小时以上)，在南方湿润的环境中还应该定期把电控柜打开，使电路板也得到充分的干燥，避免电控系统由于受潮后突然加电后损坏。然后检查气源、电源是否正常；
７．开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。