p16系列压电扫描台为xy轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心具有通孔,该系列扫描台有行程可达105μm,开环、闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。特点
•位移可达105μm
•承载能力1.5kg
•闭环重复定位精度高
•开环、闭环可选
•真空版本可选
频率负载曲线
刚度大、谐振频率高、负载能力大
p16系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,扫描台分别可实现50μm 、100μm、105μm的运动行程,一体式结构设计xy 轴运动无耦合,优异的结构可承载1.5kg 的负载,空载谐振频率达700hz。p16.xy100 版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。
p16二维压电扫描台中心通孔尺寸ø20mm或ø43mm,该系列压电扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成像等领域。
应用实例
p16.xy二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光路调整实验中,带载镜片做xy轴精密运动。
技术参数
型号:p16.xy100
运动自由度:x、y
行程范围(0~120v):80μm或±40μm/轴
行程范围(0~150v):100μm/轴或±50μm/轴
闭环传感器:sgs
通孔尺寸:ø20mm
闭/开环分辨率:10/5nm
闭环线性度:1%f.s.
闭环重复定位精度:0.5%f.s.
俯仰/偏航/滚动:<25μrad
推/拉力:30/30n
运动方向刚度:0.5n/μm
空载谐振频率:600hz
闭/开环空载阶跃时间:10/1.6ms
承载能力:1.5kg
静电容量:3.6μf/轴
材质:钢、铝
重量:220g