xd602系列压电纳米定位台是xyz三维运动压电平台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点，行程范围可达200μm/ 轴，广泛应用于精密定位、微操作等领域。
产品运动示意图
应用
纳米定位
精密定位
微操作/微加工
大行程、高可靠性、高稳定性
xd602为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现每轴200μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。
闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（sgs），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与e70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。
技术参数
型号：xd602
运动方向：x/y/z
行程范围@120v：160µm
行程范围@150v：200µm
传感器：sgs
开环分辨率：8nm
闭环线性度：0.2%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
空载谐频：270hz
谐振频率@100g：110hz
50%行程空载使用频率：20hz
台体材料：铝
工作温度范围：0~50 ℃
承载能力：300g
推荐控制器
xd602系列压电位移台，可搭配芯明天e70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。