P77.D9压电式移相器

发布时间:2024-06-10
p77系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达 50µm,负载能力可高达10kg。p77.d9为p77系列中的一款,它的中心通孔为φ140mm,移相行程可达32μm,分辨率达0.5nm,适用于各种光学镜片、镜头等测量的卧式激光干涉仪,卧式承载达5kg。
芯明天压电移相器以定制设计为主,依据客户的设备应用,量身定制。
特点
• 行程范围:0~16/32μm
• 通孔直径:φ140mm
• 卧式承载:5kg
• 可定制
应用
• 显微成像
• 表面检测
• 移相/干涉/计量
• 精密定位
• 移相器
• 光学捕获
10v步进电压与位移曲线
应用示图
p77.d9压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计,带载大口径镜架等,亚纳米级步进移相,为光学检测设备提供高精密的核心组件,显著提高光学检测的精度。
技术参数
运动自由度:z轴
标称行程范围(0~120v):12.8或25.6μm
行程范围(0~150v):16或32μm
通孔尺寸:φ140mm
外形尺寸:210×210×56mm
分辨率:0.5nm
俯仰/偏航/滚动:<15μm
空载谐振频率:200hz
卧式承载能力:5kg
静电容量:14.4或28.8μf
材质:钢、铝
重量:4.2kg
工作温度范围:-20~80℃
控制:1或2路控制
连接器:lemo
出线长:1.5m
芯明天其他压电移相器
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