什么是真空阴极磁控溅射镀膜法?

发布时间:2024-02-06
什么是真空阴极磁控溅射镀膜法?
镀膜玻璃的真空阴极磁控溅射镀膜法,是将玻璃置于真空室中,在真空室内通入反应性气体,当对溅射阴极通电时,在电场的作用下,从阳极表面发射出电子,电子在电场的加速下能量迅速提高,高能电子将于阴极表面区域的空间的气体分子相碰撞,使气体分子电离,带正电的粒子在电场的加速下,高速向阴极表面撞击,将金属粒子击出,同时由于粒子碰撞靶表面产生大量二次电子,电子又在电场的加速下成为高能电子,从而维持这种导常辉光放电。其中,被带正电的粒子从靶表面出的金属粒子,会沉积在玻璃上,形成薄膜。采用这种方法,可以进行多层膜的生产,可形成的材料极多。绝大部分的金属和无机非金属均可成膜。
“控阴极溅射的原理”是在阴极内部装有永久磁铁或电磁铁。磁场穿透阴极表面的金属溅射靶,在对溅射阴极通电时,产生了一次电子,一次电子既在磁场束缚下又在电场的加速下,形成螺旋式运动轨迹,大大增加了加速时间及运动路程,提高了与空间气体分子相碰撞的几率和速度,从而提高了溅射沉积率。
采用真空磁控溅射镀膜法生产热反射镀膜玻璃,是目前国际上生产大面积镀膜玻璃的最先进工艺方法,比传统的镀膜方法在产品质量、功能、劳动生产率、成本等方面有显著的改进。除具有上述特点外采用真空磁控溅射镀膜法生产热反射镀膜玻璃,还具有膜层牢固和均匀,化学稳定性能好等优点。并能获得多种理想的光学性能和丰富的反射颜色。
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