对于机电一体化设备异于其他一般设备的特点，我们在对故障设备进行勘查时应当整合机器设备和电子设备的特征去具体探究，不过有些老办法也是可以运用到当中去的。在检测设备是否发生故障或者是否存在安全隐患的时候，不要太过冲动而重组设备零件，而要经过对设备充分分析后才能开始进行维修，并且要严格根据各个方面不同因素的考虑才是最为妥当的。
一、故障树形图判断法
故障树形图判断法即是对故障的诊断分析，也就是采取不同的逻辑思维方式去更具体、直观的诊断故障发生的原因，能够更加直接、简单、清晰的观察出设备各个零件之间的联系及发生的数据，在判断故障的时候也能够更加快速的找到根本原因。用树形图这个办法去诊断故障发生的原因，简单、明白、快速，但是这个方法并不能用于全部的故障诊断，还需要根据设备的具体情况才能够去使用这个方法去判断故障原因。
二、自诊断法
自判断法便是在机器的机身上安装警示发生故障警笛的代码或者指示灯等等，能在机器发生故障时响起警报，让我们及时发现故障的地方，并作出及时的维修。这是最简单的、最基础的诊断方法，跟其他许多诊断方法比也较为快速、准确。比如所利用温差、空气环境、大气压强、重力感应等的变化去设置警报，都可以明显的看出故障的原因所在。所以说只有在这个方法无法实现之前，才会采用其他曲折的办法。
三、诊断前所要注意的事项
要想更好的去维护好机电一体化设备，必须做出正确的诊断后才能对症下药，治根治本，于是在诊断之前，我们必先要提高诊断前的注意事项，例如：1、大部分的机器故障都是在检测都会先观察机器设备，其次再观察电子控制设备的情况。因为机器上出现问题的话我们的眼睛一般可以看出来，也会观察出机器运作不正常，像在检测大型设备零件破裂的时候，就不要占用太多的时间去纠结；2、要检测外部的小零件时，最关键的是要注重检查全部零件的完整，然后才能开始下一步的检查，直到找出故障的根本原因为止；3、检查时开始先排查好主意的关键部位，再去排查分支部分。只有确保只有的大件零件没有问题的情况下，才能放手去检查小部分的零件，只有这样由内而外的依次检查才能发现故障问题所在，最后再进行维修。